Välj din plats:

Land

Välj ett språk:

Lösningar med renrumsrobotar för tillverkning av halvledarkomponenter

KUKA:s tekniska lösningar och robotar för renrumstillämpningar uppfyller halvledarindustrins höga krav på renhet, renlighet och funktion. De utmärker sig med sin mycket goda rörlighet och maximala precision i kombination med korta cykeltider.

Utrustning som uppfyller halvledarindustrins höga krav: Renrum och säkerhet – två huvudspår i KUKA:s verksamhet.

Exempel på renrumsprodukter från KUKA: partikel- och emissionssnåla robotar, cobotar samt plattformar för tillverkning och säker hantering av mycket känslig mikroelektronik. Vi har även konfigurerat våra egna produktionsanläggningar så att de uppfyller samma stränga renrumskrav.

KUKA levererar tillsammans med sina systempartner framtidssäkrade Industrie 4.0-lösningar till halvledarindustrin – med perfekt anpassad och uppkopplingsbar hård- och programvara för maximal flexibilitet i produktionen.

Människa och robot arbetar sida vid sida i renrumsmiljö: Så kommer framtidens högautomatiserade halvledarfabrik att se ut.

Renare än i en operationssal: Masstillverkning av halvledarchips i renrumsmiljö upp till kategori 1 hos Infineon GmbH.

Robotteknik för tillverkning av halvledarkomponenter från en och samma leverantör

  • Renrumsrobotar

    Renrumsrobotar och (mobila) cobotar med hög renrumsklassificering, t.ex. tack vare invändiga, inkapslade styrningar och ledningar samt inbyggd drivningsteknik

     

  • Programvara för mobila tillämpningar

    Intelligenta, semi-SECS-konforma programvarupaket.

  • Teknisk projektutveckling och kundsupport

    Vi erbjuder skräddarsydda applikationsspecifika lösningar som uppfyller dina krav.

  • KUKA:s globala TechCenter med globala standarder

    Du som kund kan dra nytta av KUKA:s TechCenter-testlabb som bland annat finns i Taiwan och Kina.

När renrum finns med redan på ritbordet: KUKA erbjuder både robotar för tillverkning av halvledarkomponenter och mobila cobotar.

Noggranna, snabba robotar med hög renrumsklass: Extra hög säkerhet tack vare certifiering av Fraunhofer-Institut.

Redan på ritbordet tar vi hänsyn till renrumsrelevanta kriterier när vi utvecklar våra robotar. Ta t.ex. våra standardrobotar med hög ISO-klass, som i grundutförande lämpar sig för en lång rad renrumstillämpningar.

 De har lättrengjorda specialytor och speciella grunderingar, tätningar och lackeringar på varje axel. De är som standard ESD-säkra och har kontrollerats av Fraunhofer IPA rörande deras lämplighet för renrumsmiljöer.

Kiselplattor kan endast tillverkas i renrum

Fraunhofer IPA är ett av världens ledande institut inom ren produktion och kontaminationskontroller. Sedan mer än 18 år har vi ett tätt samarbete med KUKA. Dels inom ramen för vår renrumscertifiering Fraunhofer Tested Device® och CSM®, men även vid den renhetstekniska utformningen av företagets robotar.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Hitta en renrumscertifierad kinematik som uppfyller dina krav. 

LBR iiwa CR (bärlast 7 - 14 kg, cobot)

Vår avkännande robot LBR iiwa lämpar sig särskilt väl för  hantering av känsliga substrat tack vare robotens positions- och eftergivlighetsreglering.

KUKA LBR iiwa i renrumsmiljö
KUKA LBR iiwa i renrumsmiljö

KMR iiwa CR (robotens bärlast 7 - 14 kg, plattformens bärlast 170 kg, mobil cobot)

KMR iiwa kan betjäna processmaskiner utan att driftsmiljön behöver byggas om.

  • Autonom navigering
  • Omniriktad
  • Integrerade semistandarder
  • Flotthanterare
  • Fritt skalbart, moduluppbyggt system
  • Certifikat (PDF)
Vår platsoberoende plattform KMR iiwa erbjuder maximal flexibilitet och är redo att anta utmaningarna i framtidens Industrie 4.0-miljöer.
Vår platsoberoende plattform KMR iiwa erbjuder maximal flexibilitet och är redo att anta utmaningarna i framtidens Industrie 4.0-miljöer.

KR AGILUS CR (bärlast 6 - 10 kg)

Vår extremt snabba och positionsexakta robot KR AGILUS i renrumsutförande är en robot som är specialiserad för många tillämpningar, t.ex. Reticle/Wafer Testing.

  • Räckvidd: 706,7 - 1101 mm
  • ISO-klass 2
  • Integrerad energiförsörjning
  • Våra särskilda robotstyrningar för smårobotar: KR C5 micro
  •  Certifikat (PDF)

KR CYBERTECH CR (bärlast 20 kg)

KR CYBERTECH är tack vare sina metodiska och positionsexakta rörelser som gjord för att hantera halvledarutrustning

  • Räckvidd: 1810 mm
  • ISO-klass: 5
  • Strömlinjeformad design – platsbesparande cellkoncept
  • Robotstyrning KR C5
  • Certifikat (PDF)

Mobila cobotar för renrum: Säker hantering av känsliga komponenter.

I framtidens industriella produktion behövs intelligent uppkopplade, moduluppbyggda och mångsidiga och därmed även mobila produktions- och logistikkoncept.
Mobila renrumscobotar (KMR iiwa) är en garant för säker transport och hantering av känsliga komponenter (kiselplattor, masker, hållare) från en process till nästa. De navigerar autonomt i alla riktningar och behöver inga skydsstängsel.

Ökad produktivitet för tillverkning av halvledare

Med högprecisionsrörelser och avkännande egenskaper är KUKA:s mobila cobotar som gjorda för skonsam och säker hantering av hållare till kiselplattor.

KUKA:s TechCenter-testlabb Allt från skräddarsydda tester till kompletta integrerbara mobilitetslösningar

Vi genomför omfattande, skräddarsydda tester åt halvledar- och elektronikindustrin i våra internationella testlabb. Beroende på hur kundens aktuella projekt, applikation och behov ser ut kan vi erbjuda allt från genomförbarhetsanalyser, gränssnittstester och 24-timmarstestkörningar till kompletta lösningar.

E-bok: Next Level-automation med KUKA:s robotteknik för renrum

I vår e-bok som är gratis kan du läsa mer om hur halvledarkomponenter kommer att tillverkas i framtiden 

Ladda ned PDF

Behöver du en skräddarsydd lösning?

Du är välkommen att kontakta oss för rådgivning. Vår kompetens och långa erfarenhet av svetsning gör att vi snabbt kan hitta rätt svetslösning och svetsutrustning för just dina krav.
Kontakta oss

Är du på jakt efter tillförlitliga partner till ett automationsprojekt?

Dra nytta av vårt globala partnernätverk inom elektronikbranschen 
Hitta en samarbetspartner i din närhet

Du kanske också är intresserad av