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Guia do robô KUKA
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Soluções de robôs de sala-limpa para a fabricação de semicondutores

Tecnologias e robôs KUKA para a sala limpa atendem os altos requisitos em pureza, limpeza e funcionalidade na fabricação de semicondutores. Eles unem extrema mobilidade e máxima precisão, mesmo em tempos de ciclo curtos.

Concebido para os rigorosos requisitos da indústria de semicondutores: Sala limpa e segurança são de suma importância na KUKA.

Em especial para a sala limpa a KUKA oferece robôs, cobots e plataformas de baixo índice de partículas e emissões para a fabricação e manuseio seguros de microeletrônica de alta sensibilidade. Mesmo a nossa produção ocorre sob essas rigorosas condições de sala limpa.

Junto com parceiros de sistema, a KUKA fornece soluções sustentáveis da Industrie 4.0 para a indústria de semicondutores sob os requisitos da capacidade de interligação e flexibilização da produção por meio de hardware e software perfeitamente harmonizados.

Homem e robô em ambiente de produção altamente limpo: Fábrica de semicondutores altamente automatizada do futuro.

Mais limpo que um centro cirúrgico: Produção em massa de chips de semicondutores em um ambiente de sala limpa até a categoria 1 na Infineon GmbH.

Técnica robótica para a produção de semicondutores de uma só fonte

  • Robótica de sala limpa

    Robôs de sala limpa e cobots (móveis) com alta classificação de sala limpa, p.ex., graças a guias e condutores internos e encapsulados, bem como técnica de acionamento integrada

     

  • Software para aplicações móveis

    Pacotes de software inteligentes com conformidade Semi SECS.

  • Engineering & Customer Service

    Nós oferecemos soluções personalizadas e específicas de aplicação para os seus requisitos.

  • KUKA TechCenters mundiais com padrões globais

    Em diferentes localidades, entre outros, em Taiwan e China, estão disponíveis KUKA TechCenters como laboratórios de teste para clientes.

Da cabeça aos pés preparados para a sala limpa: robôs para semicondutores e cobots móveis da KUKA.

Robôs rápidos e precisos com alta classe de sala limpa: Mais segurança através da certificação adicional do Instituto Fraunhofer.

Já no desenvolvimento dos nossos robôs entram critérios relevantes de sala limpa. Inclusive os nossos robôs padrão com alta classe ISO são apropriados para muitas aplicações de sala limpa.

 Eles possuem superfícies especiais, bem como camadas base, vedações e pinturas de fácil limpeza em cada eixo. Por padrão, eles são compatíveis com ESD e testados pelo Fraunhofer IPA quanto à sua compatibilidade de sala limpa.

A sala limpa é essencial para a produção de placas de wafers de silício

O Fraunhofer IPA faz parte dos institutos líderes mundiais na área de produção em sala limpa e controle de contaminação. Há mais de 18 anos trabalhamos em estreita colaboração com a KUKA. Por um lado, no âmbito da certificação de sala limpa Fraunhofer Tested Device® e CSM® e, por outro lado, na concepção de robôs adequados para a sala limpa.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Encontre a cinemática com compatibilidade de sala limpa apropriada para a sua função: 

LBR iiwa CR (7-14 kg de capacidade de carga, cobot)

O LBR iiwa sensitivo é especialmente apropriado para o  manuseio de substratos sensíveis através da regulagem de posição e de resiliência.

KUKA LBR iiwa em ambiente altamente limpo
KUKA LBR iiwa em ambiente altamente limpo

KMR iiwa CR (7-14 kg de capacidade de carga do robô, 170 kg de capacidade de carga da plataforma, cobot móvel)

O KMR iiwa é apropriado para a alimentação de máquinas de processo sem medidas construtivas.

  • Navegação autônoma
  • Omnidirecional
  • Semipadrões integrados
  • Gerenciamento de frotas
  • Sistema modular de livre escalonamento
  • Certificado (PDF)
O KMR iiwa independente de local e altamente flexível oferece condições ideais para os pré-requisitos da Industrie 4.0.
O KMR iiwa independente de local e altamente flexível oferece condições ideais para os pré-requisitos da Industrie 4.0.

KR AGILUS CR (6-10 kg de capacidade de carga)

O KR AGILUS extremamente rápido e preciso na versão de sala limpa é especialista para muitas aplicações, p.ex., Reticle /Wafer Testing.

  • Raio de alcance: 706,7 - 1101 mm
  • ISO classe 2
  • Alimentação de energia integrada
  • Unidade de comando especial para robótica de pequeno porte KR C5 micro
  •  Certificado (PDF)

KR CYBERTECH CR (20 kg de capacidade de carga)

Graças ao seu comportamento de deslocamento silencioso e minucioso, o KR CYBERTECH é predestinado para o manuseio de Semiconductor Equipment

  • Raio de alcance: 1810 mm
  • Classe ISO: 5
  • Design esguio – conceito de célula com economia de espaço
  • Unidade de comando do robô KR C5
  • Certificado (PDF)

Cobots móveis para salas limpas: Manuseio seguro de componentes sensíveis.

A produção industrial de amanhã requer conceitos de produção e logística móveis, integrados de forma inteligente, modulares e versáteis.
Cobots móveis de sala limpa (KMR iiwa) garantem o transporte e manuseio seguros dos componentes sensíveis (wafer, máscaras, carrier) de um processo ao outro. Eles navegam de forma autônoma e sem cerca de proteção em todas as direções.

Aumento da produtividade para a fabricação de semicondutores

O cobot móvel da KUKA permite um manuseio protegido e seguro de carriers com extrema precisão e sensibilidade.

Laboratórios de teste KUKA TechCenter: Do teste personalizado até soluções completas integráveis na área da mobilidade

Para os nossos clientes realizamos testes abrangentes e personalizados em laboratórios de teste internacionais para a fabricação de semicondutores ou a indústria eletrônica. De acordo com o projeto, aplicação e necessidade, oferecemos estudos de viabilidade, testes de interfaces e execuções de teste 24 horas até a solução pronta.

E-book: Automação de próximo nível com robótica KUKA para sala limpa

Leia mais sobre o futuro da fabricação de semicondutores no e-book gratuito 

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