Vyberte si svoje miesto:

Štát

Zvoľte jazyk:

Robotická řešení pro čisté prostory ve výrobě polovodičů

Technologie a roboty KUKA pro čisté prostory splňují vysoké požadavky na sterilitu, čistotu a funkčnost ve výrobě polovodičů. Kombinují extrémní pohyblivost a maximální přesnost dokonce i při minimálních dobách taktu.

Koncepce pro přísné požadavky ve výrobě polovodičů: Čisté prostory a bezpečnost jsou prioritami společnosti KUKA.

Speciálně pro čisté prostory poskytuje společnost KUKA nízkoemisní a sterilní roboty, koboty a plošiny pro výrobu a bezpečnou manipulaci s vysoce citlivou mikroelektronikou. Takovým přísným podmínkám čistého prostoru podléhá i naše vlastní výroba.

Společně se svými systémovými partnery dodává KUKA inovativní řešení Průmyslu 4.0 pro výrobu polovodičů při současném plnění požadavků na propojitelnost a flexibilizaci výroby pomocí dokonale harmonizovaného hardwaru a softwaru.

Člověk a robot spolupracují ve sterilním výrobním prostředí: Vysoce automatizovaná továrna budoucnosti na výrobu polovodičů.

Větší čistota než na operačním sále: Hromadná výroba polovodičových čipů v prostředí čistého prostoru až do kategorie 1 ve společnosti Infineon GmbH.

Robotická technika pro výrobu polovodičů z jedné ruky

  • Robotika pro čisté prostory

    Roboty pro čisté prostory a (mobilní) koboty s vysokou klasifikací pro čisté prostory např. díky vnitřním, zapouzdřeným vedením a kabelům a také integrované hnací technice

     

  • Software pro mobilní aplikace

    Inteligentní softwarové balíčky splňující standardy Semi SECS.

  • Inženýrství a zákaznická služba

    Nabízíme individuální řešení pro specifické aplikace podle vašich požadavků.

  • Celosvětová technologická střediska KUKA TechCenter s globálními standardy

    Technologická střediska KUKA TechCenter jsou zákazníkům k dispozici jako testovací laboratoře na různých místech na světě, např. v Tchaj-wanu a Číně.

Zaměřeno na čisté prostory od hlavy až k patě: Roboty pro polovodiče a mobilní koboty od společnosti KUKA.

Přesné a rychlé roboty s vysokou třídou čistých prostor: Větší bezpečnost v důsledku další certifikace od Fraunhoferova ústavu.

Už ve fázi vývoje našich robotů aplikujeme kritéria, která jsou relevantní z hlediska čistého prostoru. Dokonce už naše standardní roboty mají vysokou třídu ISO a jsou tak vhodné pro mnoho aplikací v čistém prostoru.

 Mají snadno čistitelný speciální povrch a také zvláštní základový nátěr, těsnění a lakování v každé ose. Standardně splňují požadavky ESD a byly testovány na vhodnost použití v čistém prostředí ústavem Fraunhofer IPA.

Čistý prostor je zásadní pro výrobu křemíkových destiček

Fraunhofer IPA patří k předním světovým ústavům v oblasti výroby ve sterilním prostředí a kontroly kontaminace. S firmou KUKA úzce spolupracujeme už 18 let. Na jedné straně v rámci certifikace čistého prostoru Fraunhofer Tested Device® a CSM®, na straně druhé při technické úpravě robotů pro čisté prostory.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Najděte kinematiku vhodnou pro čistý prostor na základě Vaší aplikace: 

LBR iiwa CR (nosnost 7-14 kg, kobot)

Senzitivní robot LBR iiwa je obzvlášť vhodný pro manipulaci s citlivými substráty díky regulaci pozic a přizpůsobivosti.

KUKA LBR iiwa ve sterilním prostředí
KUKA LBR iiwa ve sterilním prostředí

KMR iiwa CR (robot s nosností 7-14 kg, plošina s nosností 170 kg, mobilní kobot)

Robot KMR iiwa je vhodný pro osazování procesních strojů bez nutných stavebních opatření.

  • Autonomní navigace
  • Manévrování všemi směry
  • Integrované semistandardy
  • Řízení vozového parku
  • Libovolně škálovatelný, modulární systém
  • Certifikát (PDF)
Robot KMR iiwa, který není vázán na jedno místo a je vysoce flexibilní, nabízí ideální předpoklad pro požadavky Průmyslu 4.0.
Robot KMR iiwa, který není vázán na jedno místo a je vysoce flexibilní, nabízí ideální předpoklad pro požadavky Průmyslu 4.0.

KR AGILUS CR (nosnost 6-10 kg)

Extrémně rychlý a přesný KR AGILUS v provedení „Cleanroom“ je specialistou na řadu aplikací, např. testování nitkových křížů / křemíkových destiček.

  • Dosah: 706,7 - 1101 mm
  • ISO třída 2
  • Integrovaný přívod energie
  • Speciální řízení malých robotů KR C5 micro
  •  Certifikát (PDF)

KR CYBERTECH CR (nosnost 20 kg)

Model KR CYBERTECH je díky svému klidnému a filigránskému jízdnímu chování předurčen k manipulaci s polovodičovými součástkami

  • Dosah: 1810 mm
  • ISO třída: 5
  • Štíhlý vzhled – prostorově úsporná koncepce buňky
  • Řídicí systém robota KR C5
  • Certifikát (PDF)

Mobilní koboty pro čisté prostory: Bezpečné manipulování s citlivými díly.

Průmyslová výroba zítřka vyžaduje inteligentně propojené, modulární, mnohostranné a tím i mobilní koncepce výroby a logistiky.
Mobilní koboty pro čisté prostory (KMR iiwa) zaručují bezrizikovou přepravu a bezpečnou manipulaci s citlivými díly (křemíkové destičky, masky, přepravní zařízení „Carrier“) od jednoho procesu k dalšímu. Navigujete autonomně a bez ochranného oplocení do všech směrů.

Zvýšení produktivity při výrobě polovodičů

Mobilní kobot KUKA umožňuje šetrnou a bezpečnou manipulaci s přepravními zařízeními „Carrier“, a to s extrémně vysokou přesností a citlivostí.

Testovací laboratoře technologického centra KUKA TechCenter: Od testu upraveném na míru až k integrovatelným kompletním řešením v oblasti mobility

Pro naše zákazníky provádíme v mezinárodních laboratořích rozsáhlé, na míru upravené testy pro výrobu polovodičů nebo elektronický průmysl. V závislosti na projektu, aplikaci a potřebě poskytujeme studie proveditelnosti, testy rozhraní a 24hodinové testovací cykly až po hotová řešení.

E-book: Automatizace další úrovně pomocí robotiky KUKA pro čisté prostory

Více informací o budoucnosti výroby polovodičů najdete v bezplatném e-booku 

Stáhnout PDF

Přejete si individuální řešení?

Na základě našeho odborného know-how a našich zkušeností v oblasti svařování vám rádi poradíme a najdeme ideální řešení pro vaše individuální požadavky na procesy svařování.
Kontaktujte nás

Příklady z elektronického průmyslu

Podívejte se do našich případových studií a získejte více informací o výhodách robotiky KUKA pro odvětví výroby polovodičů nebo nahlédněte do naši databáze řešení k elektronickému průmyslu.

Hledáte partnera v oblasti automatizace?

Využijte naši celosvětovou síť partnerů v elektronickém průmyslu 
Vyhledat partnera ve Vaší blízkosti

Také by vás mohlo zajímat