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Reinraumroboter-Lösungen für die Halbleiterfertigung

KUKA Technologien und Roboter für den Reinraum erfüllen die hohen Anforderungen an Reinheit, Sauberkeit und Funktionalität in der Halbleiterproduktion. Sie vereinen extreme Beweglichkeit, erstklassige Qualität und höchste Präzision auch in kürzester Zeit.

Konzipiert für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie: Reinraum und Sicherheit sind bei KUKA groß geschrieben.

Speziell zu dem Thema Reinraum bietet KUKA partikel- und emissionsarme Roboter, Cobots und Plattformen für die Herstellung und das sichere Handling von hochsensibler Mikroelektronik wie Wafern. Auch unsere eigene Produktion erfolgt unter diesen strengen Reinraum-Bedingungen und erfüllen höchste Qualität.

Zusammen mit Systempartnern liefert KUKA zukunftsfähige Industrie 4.0-Lösungen für die Halbleiterindustrie unter den Ansprüchen der Vernetzbarkeit und Fertigungsflexibilisierung durch perfekt abgestimmte Hardware und Software.

Mensch und Roboter in hochreiner Produktionsumgebung: Hochautomatisierte Halbleiterfabrik der Zukunft.

Sauberer als im Operationssaal:  Massenproduktion von Halbleiter-Chips in einer Reinraumumgebung bis zu Kategorie 1 bei Infineon GmbH.

Robotertechnik für die Halbleiter-Produktion aus einer Hand

  • Reinraum-Robotik

    Reinraumroboter und (mobile) Cobots mit großer Reinraumklassifizierung z.B. dank innenliegenden, gekapselten Führungen und Leitungen sowie integrierter Antriebstechnik

     

  • Software für Mobile Applikationen

    Intelligente, Semi SECS-konforme Software-Pakete.

  • Engineering & Customer Service

    Wir bieten individuelle, applikationsspezifische Lösungen und weitere Informationen für Ihre Anforderungen.

  • Weltweite KUKA TechCenter mit globalen Standards

    An verschiedenen Standorten u.a. in Taiwan und China stehen KUKA TechCenter als Testlabore für Kunden bereit.

Von Kopf bis Fuß auf Reinraum eingestellt: Roboter für Halbleiter und mobile Cobots von KUKA.

Präzise und schnelle Roboter mit großer Reinraumklasse: Mehr Sicherheit durch zusätzliche Zertifizierung vom Fraunhofer-Institut.

Bereits bei der Entwicklung unserer Roboter fließen reinraum-relevante Kriterien mit ein. So sind bereits unsere Standard-Roboter mit hoher ISO-Klasse für viele Reinraum-Applikationen geeignet.

Sie haben leicht zu reinigende Spezialoberflächen sowie spezielle Grundierungen, Dichtungen, und Lackierungen in jeder Achse. Sie sind standardmäßig ESD-tauglich und vom Fraunhofer IPA auf ihre Reinraumtauglichkeit geprüft.

Reinräume sind für die Silicium-Wafer-Platten Herstellung essentiell

Das Fraunhofer IPA gehört zu den weltweit führenden Instituten im Bereich Reinstproduktion und Kontaminationskontrolle. Seit über 18 Jahren arbeiten wir eng mit KUKA zusammen. Zum einen im Rahmen der Reinraumzertifizierung Fraunhofer Tested Device® und CSM®, und zum anderen bei der reinheitstechnischen Gestaltung von Robotern.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Finden Sie die reinraumtaugliche Kinematik passend für Ihre Aufgabe: 

LBR iiwa CR (7-14 kg Traglast, Cobot)

Der sensitive LBR iiwa eigent sich besonders für das  Handhaben von sensiblen Substraten durch Positions- und Nachgiebigkeitsregelung.

KUKA LBR iiwa in hochreiner Umgebung
KUKA LBR iiwa in hochreiner Umgebung

KMR iiwa CR (7-14 kg Traglast Roboter, 170 kg Traglast Plattform, Mobile Cobot)

Der KMR iiwa eignet sich für das Bestücken von Prozessmaschinen ohne bauliche Maßnahmen.

Das Wafer-Handling-Modul ermöglicht es KUKA Partnern und Endkunden den Materialfluss innerhalb der Wafer-Farbs einfach zu automatisieren
Das Wafer-Handling-Modul ermöglicht es KUKA Partnern und Endkunden den Materialfluss innerhalb der Wafer-Farbs einfach zu automatisieren

KR AGILUS CR (6-10 kg Traglast) Zertifiziert nach DIN EN ISO 14644

Der extrem schnelle und präzise KR AGILUS in Cleanroom Ausführung ist Spezialist für viele Anwendungen, z.B. Reticle /Wafer Testing.

KR CYBERTECH CR (20 kg Traglast)

Der KR CYBERTECH ist dank seines ruhigen und filigranen Fahrverhaltens prädestiniert für das Handling von Semiconductor-Equipment


Mobile Cobots für Reinräume: Sicheres Handling von sensiblen Bauteilen wie Wafern.

Die industrielle Fertigung von morgen benötigt intelligent vernetzte, modulare, vielseitige und damit auch mobile Produktions- und Logistikkonzepte.
Mobile Reinraum-Cobots (KMR iiwa) garantieren den sicheren Transport und die sichere Handhabung der sensiblen Bauteile (Wafer, Masken, Carrier) von einem Prozess zum nächsten. Sie navigieren autonom und ohne Schutzzaun in alle Richtungen.

Produktivitätssteigerung für die Halbleiterfertigung

KUKA mobiler Reinraum-Cobot ermöglicht eine schonende und sichere Handhabung von Wafern mit extremer Genauigkeit,  Sensitivität und ohne Ladeunterbrechungen.

KUKA TechCenter Testlabore: Vom maßgeschneiderten Test zur integrierbaren Komplettlösungen im Bereich Mobility

Für unsere Kunden führen wir in internationalen Testlaboren umfassende, maßgeschneiderte Tests für die Halbleiterfertigung oder Elektronikindustrie durch. Je nach Projekt, Applikation und Bedarf bieten wir Machbarkeitsstudien, Schnittstellen-Tests und 24-Stunden-Testläufe bis hin zur fertigen Lösung.

Individuelle Lösung gewünscht?

Mit unserer Kompetenz und Erfahrung beraten wir Sie gerne und finden mit Ihnen die perfekte Lösung für Ihre individuellen Anforderungen.
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Fallbeispiele aus der Elektronikindustrie

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