クリーンルームと安全を重視し、厳しい要件に対応
KUKAはクリーンルーム専用に、高感度マイクロエレクトロニクスの製造と安全な取扱いを可能にする低粒子で低排出ガスのロボット、コボット（協働ロボット）、プラットフォームを提供。自社の製造もこの厳しい条件の下で行っています。
システムパートナーと共に、ネットワーク機能と製造の柔軟性の要求を満たすハードウェアとソフトウェアを準備し、半導体業界向けに将来性の高いインダストリー4.0ソリューションを提供します。
半導体製造用クリーンルームロボット
クリーンルーム向けのKUKAの技術とロボットは、短いサイクルタイムでも究極の可動性と最高精度を両立。半導体製造における純度、クリーン度、機能性に対する高い要求を満たします。
半導体製造用ロボット技術
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クリーンルームロボット
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モバイルアプリケーション用ソフトウェア
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エンジニアリング&カスタマーサービス
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グローバル基準を有する世界中のKUKA TechCenter
KUKAの半導体用ロボットと移動式コボット
頭から足先までクリーンルーム仕様
フラウンホーファー研究所の認証取得によりさらに安全性向上
高クリーンルーム級の高精度でスピーディーなロボット
ロボットの開発時にはクリーンルーム関連の基準が考慮されるため、KUKAの標準ロボットはISO基準適合でクリーンルーム用途にも適しています。
洗浄しやすい表面に加え、各軸に特殊なプライマーコーティング、シール、塗装仕上げが施されています。標準でESDに適合しており、フラウンホーファー生産技術・オートメーション研究所 (IPA) によってクリーンルーム適合性が試験されています。
フラウンホーファー研究所は、ウルトラクリーン製造とコンタミネーションコントロールの分野で世界をリードする研究機関です。KUKAとは18年以上にわたり密接に共同研究を行っています。まずはフラウンホーファー検査済デバイス®とCSM®クリーンルーム認定関連、そしてクリーン度要件を満たすロボット設計の観点から説明します。
タスクに合ったクリーンルーム適合システムを探す
LBR iiwa CR (可搬重量7～14 kgのコボット)
高感度LBR iiwaは、特にポジションおよびコンプライアンス制御による高感度基板のハンドリングに適合されています。
- 安全性カテゴリー3 (認定証)
- リーチ: 800～820 mm
- ISO等級3
- 7軸
- KUKA Sunrise Cabinetコントローラ
KMR iiwa CR (可搬重量7～14 kgのロボット、可搬重量170 kgのプラットフォーム、移動式コボット)
KMR iiwaは、構造的措置なしでの成形装置の装備に適合しています。
- 自動ナビゲーション
- 全方位
- 統合型準標準規格
- フリートマネージメント
- 拡張自在なモジュールシステム
- 認定証 (PDF)
KR AGILUS CR (可搬重量6～10 kg)
極めて迅速かつ高精度のクリーンルーム仕様KR AGILUSは、例えばレチクル/ウェーハテストといった多くの用途に合った専用機です。
- リーチ: 706.7～1101 mm
- ISO等級2
- エナジーサプライシステム内蔵
- 専用スモールロボティクスコントロール KR C5 micro
- 認定証 (PDF)
KR CYBERTECH CR (可搬重量20 kg)
KR CYBERTECHは、静かで繊細な作動方式により、半導体機器のハンドリング専用です
精密部品を安全に取り扱うクリーンルーム用移動式コボット
明日の工業生産に求められるのは、インテリジェントなネットワーク化、モジュール化、多用化された移動式の製造と物流コンセプトです。
移動式クリーンルーム用コボット(KMR iiwa)は、工程から工程へ精密部品（ウェハー、マスク、キャリア）を安全に搬送。安全柵なしで自律的にあらゆる方向に移動が可能です。
エレクロトニクス産業のユーザー事例
半導体産業向けKUKAロボットユーザー事例をご紹介。エレクトロニクス分野向けソリューションデータベースをご覧ください。
