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Solutions de robots pour salle blanche pour la fabrication de semi-conducteurs

Les technologies et robots KUKA pour la salle blanche répondent aux exigences élevées en matière de pureté, de propreté et de fonctionnalité pour la production de semi-conducteurs. Ils combinent une grande mobilité avec une précision maximale, même avec des cycles extrêmement courts.

Conçus pour les exigences strictes de l’industrie des semi-conducteurs : la salle blanche et la sécurité sont primordiales chez KUKA.

KUKA propose des robots émettant peu de particules et d’émissions, des Cobots et des plateformes spécialement pour l’utilisation en salle blanche, pour la fabrication et la manipulation sûre d’éléments de microélectronique extrêmement sensibles. Notre propre production est également effectuée sous ces conditions strictes de salle blanche .

En collaboration avec des intégrateurs partenaires, KUKA fournit des solutions d'avenir pour l’Industrie 4.0 dans l’industrie des semi-conducteurs en répondant aux exigences d’interconnectivité et de flexibilisation de la fabrication grâce à un matériel et un logiciel parfaitement adaptés.

L’homme et le robot travaillent dans un environnement de salle blanche de haute pureté : une usine de semi-conducteurs d’avenir, hautement automatisée.

Plus propre que dans une salle d’opération : la production de masse de puces de semi-conducteurs dans un environnement de salle blanche jusqu’à la catégorie 1 chez Infineon GmbH.

Robotique d’un seul fournisseur pour la production de semi-conducteurs

  • Robotique de salle blanche

    Robots pour salle blanche et Cobots (mobiles) disposant de la classification élevée pour salle blanche grâce à des guidages et câbles gainés montés à l’intérieur ainsi qu’une technique d’entraînement intégrée, p. ex.

     

  • Logiciel pour applications mobiles

    Progiciels intelligents, conformes à la semi-norme SECS.

  • Ingénierie & service client

    Nous proposons des solutions individuelles et spécifiques aux diverses applications répondant à vos exigences.

  • TechCenter KUKA avec standards globaux dans le monde entier

    Des TechCenter KUKA sont disponibles en tant que laboratoires de tests pour les clients sur différents sites ; Taïwan et la Chine, entre autres.

Les robots pour semi-conducteurs et Cobots mobiles de KUKA : une conception parfaitement adaptée à la salle blanche.

Des robots précis et rapide avec classe élevée de salle blanche : plus de sécurité grâce à une certification supplémentaire de l’institut Fraunhofer.

Des critères importants pour la salle blanche sont pris en compte dès le développement de nos robots. Ainsi, nos robots standards sont d’ores et déjà appropriés pour un grand nombre d’applications de salle blanche du fait de la classe ISO élevée.

 Ils ont des surfaces spéciales faciles à nettoyer ainsi que des couches de fond, des joints et des peintures spéciales sur chaque axe. Ils sont, en standard, compatibles avec ESD et contrôlés par l’institut Fraunhofer IPA quant à leur compatibilité avec la salle blanche.

La salle blanche est essentielle pour la fabrication des tranches de plaquettes en silicium

L’institut Fraunhofer IPA fait partie des instituts les plus renommés au monde en ce qui concerne la pureté de la production et le contrôle de contamination. Nous collaborons étroitement avec KUKA depuis plus de 18 ans. D’un côté, dans le cadre de la certification de salle blanche Fraunhofer Tested Device® et CSM® et de l’autre, lors de la conception de robots en ce qui a trait à la technique de pureté.

Dr. Frank Bürger, institut Fraunhofer IPA

Trouvez la cinématique compatible avec la salle blanche adéquate pour vos tâches : 

LBR iiwa CR (charge de 7-14 kg, Cobot)

Le LBR iiwa sensitif est particulièrement approprié pour la manipulation de substrats sensibles du fait de sa régulation de position et d’élasticité.

Le LBR iiwa de KUKA dans un environnement de haute pureté
Le LBR iiwa de KUKA dans un environnement de haute pureté

KMR iiwa CR (robot avec charge de 7-14 kg, plate-forme avec charge de 170 kg, Cobot mobile)

Le KMR iiwa est approprié pour le chargement de machines de processus sans mesures constructives.

  • Navigation autonome
  • Omnidirectionnel
  • Semi-standards intégrés
  • Gestion de flotte
  • Système modulaire librement extensible
  • Certificat (PDF)
Nomade et extrêmement flexible, le KMR iiwa offre les conditions idéales pour les exigences d’Industrie 4.0.
Nomade et extrêmement flexible, le KMR iiwa offre les conditions idéales pour les exigences d’Industrie 4.0.

KR AGILUS CR (charge de 6-10 kg)

Extrêmement rapide et précis, le KR AGILUS en version Cleanroom est un spécialiste d’un grand nombre d’applications telles que le test de réticules / plaquettes, p. ex.

  • Portée : 706,7 - 1101 mm
  • Classe ISO 2
  • Alimentation en énergie intégrée
  • Contrôleur spécial pour petits robots KR C5 micro
  •  Certificat (PDF)

KR CYBERTECH CR (charge de 20 kg)

Grâce à son déplacement calme et filigrane, le KR CYBERTECH est prédestiné pour la manipulation d’équipements de semi-conducteurs

  • Portée : 1810 mm
  • Classe ISO : 5
  • Design svelte - concept de cellule peu encombrant
  • Contrôleur de robot KR C5
  • Certificat (PDF)

Cobots mobiles pour les salles blanches : manipulation sûre de pièces sensibles.

La production industrielle de demain a besoin de concepts de production et de logistiques mis en réseau de façon intelligente, modulaires, polyvalents et surtout mobiles.
Des Cobots mobiles pour salle blanche (KMR iiwa) garantissent le transport sûr et la manipulation sûre des pièces sensibles (plaquettes, masques, porteurs) d’un processus à l’autre. Ils naviguent de façon autonome et sans grille de protection dans toutes les directions.

Une productivité accrue pour la fabrication de semi-conducteurs

Le Cobot mobile de KUKA permet une manipulation délicate et sûre de porteurs avec une précision et une sensibilité extrêmement élevées.

Laboratoires de tests aux TechCenter KUKA : du test sur mesure aux solutions complètes pouvant être intégrées dans le secteur de la mobilité

Pour nos clients, nous procédons à des tests complets et sur mesure pour la fabrication de semi-conducteurs ou pour l’industrie électronique dans des laboratoires de tests internationaux. En fonction du projet, de l’application et selon les besoins, nous proposons des études de faisabilité, des tests d’interface et des tests de fonctionnement pendant 24 heures, jusqu’à la solution finie.

White paper : nouvelle ère d’automatisation avec la robotique KUKA pour salle blanche

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