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KUKA의 기술과 클린룸 로봇은 반도체 생산 시의 엄격한 환경적 조건에 대한 높은 요건을 충족합니다. 유연한 동작과 높은 정확도로 사이클 타임 또한 단축할 수 있습니다.
KUKA는 클린룸 용으로 특수 제작된 고감도 미세 전자 장치의 안전한 핸들링과 제조를 위한 입자 및 배출량이 적은 로봇, 협업로봇 및 플랫폼 등을 제공합니다. KUKA의 자체 생산 역시 이러한 까다로운 클린룸 조건 속에서 진행됩니다.
KUKA는 시스템 파트너와 함께 완벽하게 조화를 이루는 하드웨어 및 소프트웨어를 통해 생산 의 유연성과 연결성을 요구하는 반도체 산업의 미래를 위한 인더스트리 4.0 솔루션을 제공합니다.
로봇의 개발 단계에서 부터 클린룸과 관련된 조건을 고려하여 설계되었습니다. 높은 ISO 등급의 KUKA의 기본 로봇은 많은 클린룸 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.
관리하기 수월한 특수 표면과 각 축의 특수 베이스 코트, 실링, 도장을 갖추고 있습니다. 기본적으로 ESD 호환되며 프라운호퍼 IPA에서 클린룸 호환성에 대한 테스트가 진행되었습니다.
프라운호퍼 IPA는 클린룸 생산 및 오염 점검 분야의 세계 최고 연구소 중 하나입니다. 18년 넘게 KUKA와 함께 협업해왔습니다. 한 가지는 프라운호퍼 Tested Device® 및 CSM® 클린룸 인증이고 다른 한 가지는 청결과 관련 로봇 형태입니다.
민감한 LBR iiwa는 특히 위치 및 탄성력 제어를 통한 민감한 서브스트레이트 핸들링에 적합합니다.
KMR iiwa는 공사 없이 프로세스 머신을 장착하는데 적합합니다.
Cleanroom 버전의 매우 빠르고 정확한 KR AGILUS는 많은 애플리케이션의 전문가입니다(예: 레티클/웨이퍼 테스팅).
KR CYBERTECH는 조용하고 섬세한 이동 거동으로 반도체 장비 핸들링에 적합합니다.
미래의 제조 산업에는 지능적으로 연결되고 모듈식이며, 다양한 모바일 제조 및 로지스틱 컨셉이 필요합니다.
모바일 클린룸 협업로봇(KMR iiwa)으로 민감한 부품(웨이퍼, 마스크, 캐리어)을 프로세스에서 다음 프로세스로 안전하게 운반하고 핸들링합니다. 자율적으로 안전 펜스 없이 모든 방향으로 이동할 수 있습니다.
