KUKA ontwikkelt mobiele robots voor de productie van halfgeleiders

De productie van halfgeleiders is complex. Een mobiele, geautomatiseerde productie van halfgeleiders die het transport van bouwdelen van een productiestap naar de volgende mogelijk maken, bestond tot nu toe nog niet. De KUKA Wafer Handling Solution brengt hier verandering in.

13 augustus 2019

Halfgeleiders vind je zowat in alles terug

Kleine, slimme computerchips, zogenaamde halfgeleiders, vind je zowat in alles terug: in smartphones, tablets en ook auto's. Vooral voor de megatrends van de automobiele sector is deze component van cruciaal belang. Bij de productie van halfgeleiders wordt het chemische element silicium in de vorm van wafers bewerkt. De wafers worden bij de productie in cleanrooms in speciale kunststof cassettes bewaard en in talrijke processtappen verwerkt. Omdat de vraag naar halfgeleiders toeneemt, willen fabrikanten ook het productiesproces verder automatiseren.

Geautomatiseerde handling van wafers: KUKA Wafer Handling Solution

KUKA heeft met de KUKA Wafer Handling Solution 's werelds eerste oplossing uit één hand ontwikkeld die cassettes met halfgeleiders automatisch kan transporteren en hanteren. De toepassing bestaat uit een gestandaardiseerde Automated Guided Vehicle (AGV) en de in de praktijk bewezen lichte robot LBR iiwa. Hiervoor werd een geavanceerd grijpersysteem ontwikkeld. Ook de software komt van KUKA.

De mobiele robotica-oplossing voor de halfgeleiderindustrie verplaatst zich autonoom.

Robotica-oplossing voor de halfgeleiderindustrie in cleanrooms

Voor de mobiliteit zorgt het mobiele platform KMR 200 CR. Het platform heeft Mecanum-wielen waarmee omnidirectioneel in elke richting kan worden gereden. Sensoren op het platform registreren de omgeving in real time en vermijden zo botsingen. De mens-robotcompatibele LBR iiwa is op het platform gebouwd. Door de gevoeligheid van de robot kunnen de gevoelige wafer-cassettes veilig en zonder schokken worden gehanteerd. Het derde component van de toepassing is een op maat gemaakte grijper. Het grijpersysteem is door KUKA gepatenteerd.

De KUKA cleanroom-toepassing garandeert een veilige automatisering van de wafer-handling.

Software bestuurt mobiele robotvloot

Bij de cleanroom-toepassing voor de wafer-handling komen de hardware en de software allebei van KUKA. De software-oplossing voor de handling van wafers kan naadloos worden geïntegreerd in het Manufacturing Execution System van de producenten van halfgeleiders. De in de software geïntegreerde vlootmanager regelt de transportopdrachten en garandeert zo een optimale, geautomatiseerde productie van halfgeleiders. Alle oplossingen komen uit één hand en zijn gecertificeerd. Hierdoor ontstaan extreem korte inbedrijfnametijden, wat het systeem het flexibelste handlingsysteem op de markt maakt.