Du använder en äldre version av webbläsaren Internet Explorer. För en så bra upplevelse som möjligt bör du uppdatera din webbläsare.
KUKA utvecklar mobila robotar för halvledarproduktion
Att tillverka halvledare är en komplex verksamhet. Det fanns länge ingen halvledarproduktion där komponenterna transporteras per automatik från det ena bearbetningssteget till det andra. Med KUKA Wafer Handling Solution har detta ändrats.
den 13 augusti 2019
Halvledare finns överallt
Små, smarta datorchips, så kallade halvledare, finns numera överallt i vår vardag: i smarttelefoner, surfplattor och även i bilar. Särskilt för fordonsindustrins megatrender är denna komponent av central betydelse. Vid halvledartillverkningbearbetas det kemiska grundämnet kisel i form av kiselplattor. Kiselplattorna förvaras i speciella plastkassetter under renrumsförhållanden och bearbetas i en lång rad olika processteg. Eftersom efterfrågan på halvledare kommer att fortsätta stiga önskar producenterna automatisera sina tillverkningsprocesser ytterligare.
Automatiserad hantering av kiselplattor: KUKA Wafer Handling Solution
Med KUKA Wafer Handling Solution introducerade KUKA världens första lösning från en och samma leverantör för automatisk transport och hantering av halvledarkassetter. Applikationen består av ett standardiserat AGV-fordon (Automated Guided Vehicle) kombinerat med vår lättviktsrobot LBR iiwa som gång på gång levererat ute på fältet. Ett sofistikerat, specialutvecklat gripsystem är pricken över i:et i denna lösning. Även programvaran har utvecklats av KUKA.
Vår mobila robotlösning för halvledarindustrin förflyttar sig per automatik.
Robotlösning för halvledarindustrin i renrumsmiljö
De nödvändiga förflyttningarna utförs av vår mobila plattform KMR 200 CR. Plattformen är utrustad med Mecanum-hjul som möjliggör omniriktad körning i alla riktningar. Sensorer runt plattformen läser av omgivningen i realtid och ser till att kollisioner undviks. Monterad på plattformen sitter LBR iiwa – vår robot anpassad för samarbete mellan människa och robot. Denna avkännande robot hanterar de känsliga kassetterna innehållande kiselplattor på ett säkert sätt utan skakningar eller vibrationer. Den tredje komponenten i applikationen är det skräddarsydda gripdonet. Gripsystemet är patenterat av KUKA.
KUKA:s renrumsapplikationer automatiserar hanteringen av kiselplattor på ett säkert sätt.
Programvara styr mobil robotflotta
I den här renrumsapplikationen för hantering av kiselplattor kommer både hårdvara och programvara från KUKA. Wafer Handling-programvarulösningen är enkel att integrera i halvledarproducenternas Manufacturing Execution System. I programvaran finns ett inbyggt hanteringssystem för fordonsflottan som styr transportjobben och optimerar den automatiserade halvledarproduktionen. Alla lösningar är certifierade och levereras från en och samma leverantör. Detta resulterar i extremt korta idrifttagningstider, vilket gör systemet till det mest flexibla hanteringssystemet på marknaden.
