为半导体行业的严苛要求而设计：净室与安全性在 KUKA 极受重视。
针对净室，KUKA 专门提供了微粒少和排放低的机器人、协作机器人和平台，用于生产和安全地搬运高敏感的微电子元件。我们自己的生产也要在严苛的净室条件下完成。
KUKA 与系统合作伙伴一起，为半导体行业提供面向未来的工业 4.0 解决方案，通过协调软件和硬件满足联网与生产灵活性的要求。
适用于半导体制造的净室机器人解决方案
适用于净室的 KUKA 技术和机器人符合半导体生产中对于纯净、清洁和功能的高要求。它们即便在非常短的周期时间内也能兼具高移动性与高精确度。
由同一家公司提供适用于半导体生产的机器人技术
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净室机器人技术
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用于移动应用的软件
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工程设计与客户服务
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符合全球标准的 KUKA TechCenter（技术中心）遍布世界各地
全面投入到净室：KUKA 半导体机器人和移动协作机器人。
精准而敏捷的机器人符合高净室等级：经弗劳恩霍夫研究所特别认证更为安全。
在开发机器人的时候我们就考虑到了净室相关标准。因此我们的标准机器人就已经满足高 ISO 等级，适用于许多净室应用。
它们的每一个轴都采用了易于清洁的特殊表面以及专用底漆、密封件和涂层。它们符合 ESD 标准，并由弗劳恩霍夫研究所 IPA 进行了净室适用性检验。
弗劳恩霍夫研究所 IPA 是洁净生产和污染控制领域的世界级的杰出机构。18 年来我们与 KUKA 紧密合作。一方面是弗劳恩霍夫研究所 Tested Device® 和 CSM® 认证工作，另一方面是对机器人的洁净技术方面的设计。
发现适合您的任务的符合净室要求的运动系统：
LBR iiwa CR（负载能力 7-14 kg，协作机器人）
灵敏的 LBR iiwa 因其位置和柔韧性调节装置而特别适合搬运敏感的基板。
- 安全等级 3（证书）
- 作用范围：800 - 820 mm
- ISO 3 级
- 7 轴
- 控制系统 KUKA Sunrise Cabinet
KMR iiwa CR（负载能力 7-14 kg 机器人，负载能力 170 kg 平台，移动协作机器人）
KR AGILUS CR（负载能力 6-10 kg）
净室规格的 KR AGILUS 极其迅速且精确，是适合多种应用的“专家”，例如用于标线或晶片测试。
- 作用范围：706.7 - 1101 mm
- ISO 2 级
- 集成式拖链系统
- 专用的小型机器人控制器 KR C5 micro
- 证书 (PDF)
KR CYBERTECH CR（负载能力 20 kg）
KR CYBERTECH 的镇定而精细的行驶特性注定其就是为搬运半导体设备而生
适用于净室的移动协作机器人：安全地搬运敏感部件。
未来的工业生产需要的是智能化、联网化、模块化、丰富多样、尤其是移动式的生产和物流方案。
移动净室协作机器人 (KMR iiwa) 确保在工艺流程之间安全地运输和搬运敏感部件（晶片、掩膜、载体）。它们在任意方向自主导航，并且无需护栏。
来自电子工业的案例
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